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PI電容式位移傳感器Physik Instrumente

產(chǎn)品型號(hào):D-015

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

瀏覽次數(shù):1327

更新時(shí)間:2025-01-03

簡(jiǎn)要描述:

PI電容式位移傳感器Physik Instrumente,電容(電容式)位移傳感器是測(cè)量、高動(dòng)態(tài)納米計(jì)量器件,可提供高的線性度和精度。PI電容傳感器/信號(hào)調(diào)理器電子元件利用高頻交流激勵(lì)信號(hào)來(lái)增強(qiáng)帶寬和無(wú)漂移測(cè)量穩(wěn)定性(可以在幾個(gè)小時(shí)內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)穩(wěn)定性)。為了提供精度等級(jí)更高、分辨率優(yōu)于一納米的納米定位系統(tǒng),PI開始開發(fā)電容式位置傳感器件。

PI電容式位移傳感器Physik Instrumente
品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工,石油,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合

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D-015 • D-050 • D-100 電容式傳感器

亞納米級(jí)分辨率位置傳感器

·         適用于具有最高精度要求的應(yīng)用

·         測(cè)量范圍達(dá) 1000 μm

·         分辨率高達(dá) 0.01 nm

·         線性誤差高達(dá) 0.01 %,采用數(shù)字控制器

·         E-509.CxA 控制電子元件,兼容 E-500 壓電控制器系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

高精度定位。

分辨率

電容式傳感器可在較短的距離內(nèi)實(shí)現(xiàn)皮度計(jì)的分辨率。理論測(cè)量分辨率是無(wú)限的。在實(shí)踐中,散射輻射、幾何效應(yīng)和測(cè)量電子噪聲會(huì)影響可實(shí)現(xiàn)的精度。與E-509配合使用。C1A電子元件,D-100.00傳感器的有效噪聲因數(shù)(100μm)為0.02 nm/?Hz。例如,對(duì)應(yīng)于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 帶寬。電子元件的跳線可調(diào)帶寬高達(dá)3 kHz。

除了此處列出的標(biāo)準(zhǔn)傳感器外,PI還提供定制版本,例如測(cè)量,幾何形狀,材料,電子等。

電容式測(cè)距原理

兩種類型的電容式距離傳感器很常見:?jiǎn)坞姌O傳感器和兩電極傳感器。

雙電極傳感器可以實(shí)現(xiàn)更低的噪聲水平和更高的分辨率。其原理基于兩個(gè)導(dǎo)電表面和高頻(>100kHz)交流電,在它們之間產(chǎn)生均勻的電場(chǎng)。電容與有效表面除以距離成正比。對(duì)于給定區(qū)域,測(cè)量的距離與距離成正比。單電極電容式傳感器的工作原理類似。它們更易于處理,并且可以針對(duì)各種導(dǎo)電表面進(jìn)行測(cè)量。

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